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电子超纯水

某电子厂超纯水系统工程

项目背景:根据业主提供资料,该项目所需超纯水装置产水量按5m3/h设计,出水指标达到电阻率≥17.5MΩ•cm。


进水水质:采用园区的自来水,符合生活饮用水水质指标。


二级RO流量:5.5m3/h(水温25℃)


DI流量:5m3/h


出水水质要求:终端出水水质要求见下表:


处理工艺:根据该公司对水质的要求,我们经过详细的比较采用了反渗透的工艺。反渗透技术是当今最先进、最节能、效率最高的分离技术。其原理是在高于溶液渗透压的压力下,借助于只允许水分子透过的反渗透膜的选择截留作用,将溶液中的溶质与溶剂分离,从而达到纯净水的目的。


预处理部分:预处理主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、有机物和余氯等妨碍后续反渗透运行的杂质,使得反渗透装置的入口水质符合卷式复合膜进水水质的要求(浊度<1NTU、余氯<0.1ppm、SDI<5)。处理工艺采用絮凝、石英砂过滤、活性炭吸附、软化和保安过滤。预处理设备包括原水泵、砂滤器、活性炭过滤器、软化器、计量加药系统等。


RO系统:RO处理主要是除盐,把含盐水加压通过RO膜把水分子与盐分子分离。本系统设计二级RO装置。一级RO装置产水9m3/h。采用美国陶氏公司的8英寸的抗污染RO膜。膜数量:9只/套;排列方式:(2:1)×3,单级两段;最大水回收率:70%,此整机脱盐率:≥97%。二级RO装置产水6m3/h。采用美国陶氏公司的8英寸的抗污染RO膜。膜数量:6只/套;排列方式:(1:1)×3,单级两段;最大水回收率:82%,此整机脱盐率:≥97%。


DI系统:主要目的是去除离子。


工程图片

超纯水处理工程


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